应用材料(AMAT)发布面向AI芯片的3D制造设备新品线,聚焦高带宽存储(HBM)、芯粒(Chiplet)、混合键合等先进封装工艺。新设备覆盖先进化学机械抛光(CMP)、电化学沉积(ECD)与等离子体增强化学气相沉积(PECVD),并新增基于电子束的工艺控制设备,同时升级了面向DRAM的外延设备,以提升AI存储与封装环节的良率。